Các hạt bụi và lớp mờ không ảnh hưởng đến mọi phần của tấm bán dẫn theo cùng một cách. Sự phân bố của chúng trên bề mặt có thể cho thấy sự khác biệt về độ sạch của chất nền và chất lượng màng, khiến việc lập bản đồ khuyết tật ở cấp độ tấm bán dẫn trở thành một phần quan trọng của việc kiểm soát vật liệu đầu vào.
Máy KLA Surfscan SP2 kiểm tra các tấm wafer không có hoa văn bằng cách sử dụng phương pháp phát hiện quang học dựa trên laser. Kết quả kiểm tra giúp xác định các bất thường trên bề mặt, bao gồm các hạt và lớp mờ, trước khi các tấm wafer được đưa vào các bước khắc quang, lắng đọng hoặc các bước chế tạo khác. Cả các tấm wafer silicon trần và một số chất nền được phủ màng đều có thể được kiểm tra, tùy thuộc vào công thức đo và cấu hình hệ thống.
Đối với các nhà sản xuất tấm bán dẫn, kết quả quan trọng không chỉ đơn thuần là kết quả đạt hay không đạt, mà là bức tranh rõ ràng hơn về tình trạng bề mặt trên toàn bộ tấm bán dẫn.
Thông số kỹ thuật chính của KLA Surfscan SP2
| Nhà sản xuất | KLA-Tencor / KLA |
|---|---|
| Người mẫu | Surfscan SP2 |
| Loại thiết bị | Hệ thống kiểm tra khuyết tật wafer không theo mẫu |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | 200 mm và 300 mm |
| Công nghệ kiểm tra | Kiểm tra quang học trường tối bằng tia laser UV |
| Độ nhạy đã công bố | Các khuyết tật nhỏ đến khoảng 37 nm trong điều kiện kiểm tra và kích thước wafer được chỉ định. |
| Chế độ chiếu sáng | Chiếu sáng vuông góc và chiếu sáng xiên |
| Các bề mặt có thể kiểm tra | Các tấm wafer trần, màng mịn và nhám, các lớp màng xếp chồng lên nhau và các lớp chất cản quang. |
| Khả năng dữ liệu | Lập bản đồ khuyết tật, phân loại và dữ liệu phân tích bề mặt SURFimage |
| Tình trạng | Thiết bị bán dẫn đã qua sử dụng |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại, việc kiểm tra và xác nhận cấu hình. |
