อนุภาคและฝุ่นละอองไม่ได้ส่งผลกระทบต่อทุกส่วนของแผ่นเวเฟอร์ในลักษณะเดียวกัน การกระจายตัวของอนุภาคและฝุ่นละอองทั่วพื้นผิวสามารถบ่งบอกถึงความแตกต่างในความสะอาดของวัสดุรองรับและคุณภาพของฟิล์ม ทำให้การทำแผนที่ข้อบกพร่องในระดับเวเฟอร์เป็นส่วนสำคัญของการควบคุมวัสดุขาเข้า
เครื่อง KLA Surfscan SP2 ตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ที่ยังไม่ได้ขึ้นรูปโดยใช้การตรวจจับด้วยแสงเลเซอร์ ผลการตรวจสอบช่วยระบุความผิดปกติบนพื้นผิว รวมถึงอนุภาคและฝ้า ก่อนที่แผ่นเวเฟอร์จะเข้าสู่กระบวนการลิโทกราฟี การตกตะกอน หรือขั้นตอนการผลิตอื่นๆ สามารถตรวจสอบได้ทั้งแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเปล่าและพื้นผิวเคลือบฟิล์มบางชนิด ขึ้นอยู่กับสูตรการวัดและการกำหนดค่าระบบ
สำหรับผู้ผลิตเวเฟอร์ ผลลัพธ์ที่สำคัญไม่ได้อยู่ที่เพียงแค่ว่าผ่านหรือไม่ผ่าน แต่เป็นการได้ภาพที่ชัดเจนยิ่งขึ้นเกี่ยวกับสภาพพื้นผิวทั่วทั้งเวเฟอร์
ข้อมูลจำเพาะหลักของ KLA Surfscan SP2
| ผู้ผลิต | เคแอลเอ-เทนคอร์ / เคแอลเอ |
|---|---|
| แบบอย่าง | เซิร์ฟสแกน SP2 |
| ประเภทอุปกรณ์ | ระบบตรวจสอบข้อบกพร่องของเวเฟอร์แบบไม่มีลวดลาย |
| ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ | 200 มม. และ 300 มม. |
| เทคโนโลยีการตรวจสอบ | การตรวจสอบด้วยแสงเลเซอร์ยูวีแบบดาร์กฟิลด์ |
| ความไวที่เผยแพร่ | สามารถตรวจพบข้อบกพร่องที่มีขนาดเล็กถึงประมาณ 37 นาโนเมตร ภายใต้เงื่อนไขของเวเฟอร์และการตรวจสอบที่กำหนดไว้ |
| โหมดการส่องสว่าง | การส่องสว่างแบบตกกระทบปกติและการส่องสว่างแบบตกกระทบเฉียง |
| พื้นผิวที่ตรวจสอบได้ | แผ่นเวเฟอร์เปล่า ฟิล์มเรียบและฟิล์มหยาบ ฟิล์มซ้อน และชั้นโฟโตเรซิสต์ |
| ความสามารถด้านข้อมูล | ข้อมูลการทำแผนที่ข้อบกพร่อง การจำแนกประเภท และการวิเคราะห์พื้นผิวด้วย SURFimage |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบัน การตรวจสอบ และการยืนยันการกำหนดค่า |
