Chiều cao bậc thang là một phép đo quan trọng trong quá trình phát triển chất bán dẫn, đặc biệt khi đánh giá các lớp màng được lắng đọng, các đặc điểm được khắc và những thay đổi bề mặt sau khi loại bỏ vật liệu. Thiết bị KLA Tencor P-2 ghi lại dấu vết bề mặt bằng đầu dò tiếp xúc, cho phép kiểm tra sự khác biệt về chiều cao và các biến thể về hình dạng dọc theo một đường quét được xác định.
Kết quả phân tích giúp các kỹ sư so sánh kết quả quy trình, kiểm tra các bước độ dày màng và nghiên cứu hình dạng bề mặt trên các tấm wafer hoặc các mẫu chính xác khác. Phạm vi đo và độ phân giải đạt được phụ thuộc vào cấu hình thiết bị và điều kiện thử nghiệm.
Thông số kỹ thuật chính của KLA Tencor P-2
| Nhà sản xuất | KLA-Tencor |
|---|---|
| Người mẫu | P-2 |
| Loại thiết bị | Máy đo biên dạng bề mặt bằng bút cảm ứng quét dài |
| Kích thước mẫu được liệt kê | 150 mm / 6 inch |
| Độ dài quét tối đa | Khoảng 210 mm |
| Phạm vi tốc độ quét được công bố | Khoảng 1 µm/s đến 25 mm/s |
| Dải dọc độ phân giải cao | Sai số xấp xỉ ±6,5 µm ở độ phân giải 1 Å. |
| Phạm vi thẳng đứng mở rộng | Sai số xấp xỉ ±150 µm ở độ phân giải 25 Å. |
| Dữ liệu hồ sơ tối đa | Tối đa khoảng 5.000 điểm dữ liệu mỗi lần quét. |
| Khu vực đo lường dễ tiếp cận | Có thể sử dụng với đường kính lên đến khoảng 210 mm mà không cần định vị lại mẫu. |
| Trọng lượng mẫu tối đa | Khoảng 2,2 kg |
| Các phép đo chính | Chiều cao bậc thang, độ nhám, độ gợn sóng và biên dạng bề mặt |
| Tình trạng | Thiết bị bán dẫn đã qua sử dụng |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào tình trạng hàng tồn kho hiện tại, việc kiểm tra và xác nhận cấu hình. |
