ความสูงของขั้นบันไดเป็นค่าการวัดที่สำคัญในการพัฒนาขั้นตอนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการประเมินฟิล์มที่เคลือบ คุณสมบัติที่ถูกกัด และการเปลี่ยนแปลงของพื้นผิวหลังจากการกำจัดวัสดุ เครื่อง KLA Tencor P-2 บันทึกร่องรอยบนพื้นผิวด้วยหัววัดแบบสัมผัส ทำให้สามารถตรวจสอบความแตกต่างของความสูงและการแปรผันของรูปทรงตามเส้นทางการสแกนที่กำหนดได้
โปรไฟล์ที่ได้จะช่วยให้วิศวกรสามารถเปรียบเทียบผลลัพธ์ของกระบวนการ ตรวจสอบขั้นตอนความหนาของฟิล์ม และตรวจสอบรูปทรงเรขาคณิตของพื้นผิวบนเวเฟอร์หรือชิ้นงานทดสอบที่มีความแม่นยำสูงอื่นๆ ช่วงการวัดและความละเอียดที่ทำได้นั้นขึ้นอยู่กับการกำหนดค่าของเครื่องมือและเงื่อนไขการทดสอบ
ข้อมูลจำเพาะหลักของ KLA Tencor P-2
| ผู้ผลิต | เคแอลเอ-เทนคอร์ |
|---|---|
| แบบอย่าง | พี-2 |
| ประเภทอุปกรณ์ | เครื่องมือวัดความเรียบผิวแบบสแกนยาว (Long-scan Stylus Surface Profiler) |
| ขนาดตัวอย่างที่ระบุไว้ | 150 มม. / 6 นิ้ว |
| ความยาวการสแกนสูงสุด | ประมาณ 210 มม. |
| ช่วงความเร็วในการสแกนที่เผยแพร่ | ประมาณ 1 ไมโครเมตร/วินาที ถึง 25 มิลลิเมตร/วินาที |
| ช่วงแนวตั้งความละเอียดสูง | โดยประมาณ ±6.5 µm ที่ความละเอียด 1 Å |
| ช่วงแนวตั้งที่ขยายออกไป | ประมาณ ±150 µm ที่ความละเอียด 25 Å |
| ข้อมูลโปรไฟล์สูงสุด | สามารถเก็บข้อมูลได้มากถึงประมาณ 5,000 จุดต่อการสแกน |
| พื้นที่การวัดที่เข้าถึงได้ | สามารถวัดได้เส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุดประมาณ 210 มม. โดยไม่ต้องปรับตำแหน่งตัวอย่างใหม่ |
| น้ำหนักตัวอย่างสูงสุด | ประมาณ 2.2 กิโลกรัม |
| การวัดหลัก | ความสูงของขั้นบันได ความขรุขระ ความเป็นคลื่น และลักษณะพื้นผิว |
| เงื่อนไข | อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มือสอง |
| ความพร้อมใช้งาน | ขึ้นอยู่กับสินค้าในสต็อกปัจจุบัน การตรวจสอบ และการยืนยันการกำหนดค่า |
