TEL MARK 8 是東京電子 (TEL) 成熟的微影平台，集塗覆和顯影功能於一體，適用於 200 毫米晶圓光阻工作流程。光阻塗覆、熱烘烤和曝光後顯影在一個連續的流程中完成，可在成熟的工藝節點上實現圖形化。
其模組化工作站佈局為配方調整提供了充足的空間。精確的旋塗速度和溫度控制可保持光阻薄膜厚度穩定，而整合的邊緣移除功能則可減少晶圓邊緣的缺陷形成。
許多晶圓廠都依賴該平台來維持穩定的日常產能。其成熟的機械架構可有效減少非計畫性停機時間，使其成為提升光刻產能的理想選擇。
電話標誌 8 主要規格
| 製造商 | 東京電子有限公司 |
|---|---|
| 品牌 | 電話 |
| 模型 | 馬克8 |
| 設備類型 | 晶圓塗覆機和顯影機軌道系統 |
| 支援的晶圓尺寸 | 根據現有清單，有 6 英吋和 8 英吋的晶圓。 |
| 列出的流程配置 | 2C+2D；實際安裝的模組數量需確認 |
| 初級過程 | 光阻塗覆及顯影 |
| 狀態 | 用過的 半導體設備 |
| 可用性 | 以當前庫存和配置確認為準 |
