PVA TePla / Technics 600自動RFプラズマ洗浄システムは、6インチウェハの処理に最適です。フォトリソグラフィおよびエッチング工程後のフォトレジスト残留物を除去できるこのシステムは、自動ウェハハンドリングユニットと制御可能なRFプラズマ源を使用し、繊細な下地薄膜層を損傷することなく、穏やかで均一なアッシング処理を行います。調整可能な酸素ベースのプラズマプロセスにより、有機残留物を効果的に除去し、表面汚染レベルを極めて低く抑えます。
シンプルで堅牢な設計のおかげで、この中古システムはメンテナンスが容易です。フロントエンド処理において信頼性の高いフォトレジスト除去機能を必要とするウェハ製造工場にとって、費用対効果の高いソリューションを提供します。
PVA TePla 600 オートロードの主な仕様
| メーカー | PVA TePla / テクニクス |
|---|---|
| モデル | 600オートロード / 600-AL |
| 機器の種類 | 半自動RFプラズマアッシャーおよびエッチングシステム |
| 最大ウェハサイズ | 適合する機器構成に応じて最大200mm |
| RF周波数 | 13.56 MHz |
| RFジェネレーター | ENI RFジェネレーター |
| RF電力 | 0～600W |
| プロセスチャンバー材料 | セラミック |
| チャンバー直径 | 245mm |
| チャンバーの深さ | 380 mm |
| プロセスガス流路 | 適合する機器構成に応じて、MFC制御のガスチャンネルが4つあります。 |
| 真空ポンプ | Leybold TRIVAC D65シリーズ真空ポンプ。正確な型番末尾は要確認。 |
| 記録された営業時間 | 利用可能な機器リストによると、1,731時間 |
| 電源 | 230V、50/60Hz。電流および電力定格は、機械の銘板で確認してください。 |
| システムの概寸 | 740 × 624 × 701 mm（外部接続部および真空装置を除く） |
| 状態 | 中古半導体製造装置 |
| 可用性 | 現在の在庫状況、検査および構成確認を条件とします。 |
