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Besi Esec 2100 FC hS 倒裝晶片接合機

Besi Esec 2100 FC hS:8 µm @ 3σ 貼裝精度,最高產能達 12,000 UPH,包含助焊劑浸塗和全面檢測。倒裝晶片回流焊接機,採用 Phi-Y 運動、滑軌助焊劑浸塗、偽 X 射線首片對準和即時接觸監控。可處理 0.2 mm 至 20 mm 的晶片,以及 4 噸以上的晶圓。

Besi Esec 2100 FC hS Flip Chip Bonder 設備圖片
配置審查 型號和安裝選項
全新/二手供應 視項目情況而定
全球配送 基於目的地的評估
技術詢價 包裝和流程匹配

Besi Esec 2100 FC hS 高速倒裝固晶機可從晶圓或華夫格封裝上拾取晶片。它透過滑動浸塗系統塗覆助焊劑,並在凸點對準驗證後將晶片放置在引線框架或層壓基板上。該工藝首先進行點焊,最終的電氣連接在隨後的回流焊步驟中形成。

在高精度模式下,貼裝精度可達 8 µm @ 3σ,產能高達 12,000 UPH。此產能包含助焊劑浸漬和完整的鍵結後檢測。 8 µm 的精度專為對成本敏感的大批量生產而設計,滿足生產需求,在這些生產環境中,正常運行時間比亞微米級精度更為重要。

該平台採用 Phi-Y 運動概念,將旋轉對準和 Y 軸移動整合於一次同步運動中。晶片和相機借助專利滑動助焊劑單元獨立移動,因此助焊劑浸漬和凸點對準可以並行進行,而非順序進行。偽 X 射線對準有助於精確定位首顆晶片,並省去了反覆試焊的步驟。製程監控涵蓋自動助焊劑痕跡檢測和即時接觸檢測,可在鍵合週期中標記冷焊點和潤濕不良的情況。

2100 FC hS 可處理 0.2 毫米(使用小型晶片套件)至 20 毫米的晶片尺寸。它支援 4 英寸至 12 英寸晶圓以及 6/8/12 英寸引線框架。通常與 SDH-84fc 基板處理機配合使用,用於處理條狀元件。典型應用包括 FCCSP、FCBGA、FC-SIP、FC-MIS、FCOL 以及新興封裝,例如 CSP-LED。

由於該平台已停產多年,但仍在二手市場上活躍流通,因此二手設備在安裝選項、黏合頭狀況和軟體版本方面差異很大。 

Besi Esec 2100 FC hS Flip Chip Bonder

Besi Esec 2100 FC hS 倒裝固晶機的關鍵規格

範圍規格
設備類型翻轉晶片鍵合器
黏合方法倒裝晶片(整體回流焊接)
放置精度8 µm @ 3σ(高精度模式)
吞吐量最高可達 12,000 UPH(包括浸塗助焊劑和檢驗)
最小循環時間240 毫秒(包括浸入式通量)
模具尺寸範圍0.2 毫米(使用小型模具套件)– 20 毫米
晶圓尺寸4" – 12"
畫框尺寸6", 8", 12"
鍵合力可編程,最小 0.2 N
通量系統滑軌單元;模具和相機獨立移動
運動概念Phi-Y:旋轉和Y軸運動同步
債券頭低品質、高剛性、液冷
流程監控自動助焊劑印記檢測,即時接觸檢測
對準輔助偽X射線“首死權”
通用處理器SDH-84fc
典型包裝FCCSP、FCBGA、FC-SIP、FC-MIS、FCOL、CSP-LED