中古精密ダイボンダー：精度テストと検査チェックリスト

中古の精密ダイボンダーは、特定の組立作業に対して評価されるべきである。元の仕様書は、そのプラットフォームの想定される能力を示すものであり、提供される個々の機械の現在の性能を証明するものではない。

ご購入前に、インストールされた構成と測定結果が、お客様のダイ、基板、および接合プロセスと関連していることを示す証拠をご請求ください。起動ビデオは、その録画に映っている機能のみを確認するものです。

最も厳格な検査では、次の3つの質問に答える必要があります。機械は材料を処理できるか、要求された接合結果を達成できるか、そしてその結果は合意された条件下で再現できるか。

マシンを比較する前にアプリケーションを定義してください

「高精度」だけでは、十分な購入仕様とは言えません。

機械は、実際の製品の寸法、表面状態、反り、または認識特性に苦労しながらも、剛性のある基準部品を正常に配置できる場合がある。

比較すると 中古ダイボンダー機見出しの仕様を確認する前に、申請書を作成してください。

必須要件とオプション機能を分離する。これにより、魅力的なオプションリストが未解決のプロセス上の制約を隠蔽してしまうことを防ぐことができる。

正確なマシンと構成を確認してください

銘板、作業エリア、接着ヘッド、マテリアルハンドリングモジュール、およびコントローラーの最新の写真をご請求ください。

シリアル番号を見積書および検査報告書と照合してください。別の機械の検査結果は参考情報として明記してください。

どのオプションがインストールされ、動作しているかを確認してください。関連する項目には、上面および下面のビジョン、加熱ツールまたはステージ、力制御ハードウェア、ディスペンシング、ウェーハハンドリング、ダイ排出、雰囲気制御などが含まれる場合があります。

パンフレットに記載されているオプション機能は、販売されている機械にその機能が含まれていることの証拠にはなりません。

配置精度と再現性は異なる検査項目です。

精度とは、配置が意図した位置にどれだけ近いかを示すものです。再現性とは、同じ配置をどれだけ一貫して再現できるかを示すものです。

機械は、金型をオフセット位置に繰り返し配置することがあります。また、平均値は良好でも、ばらつきが大きすぎる場合もあります。一つの数値で両方の状況を説明することはできません。

レポートの録音を依頼する：

1. 目標座標と基準系。

2. 測定装置及び測定方法

3. 配置件数。

4. X座標、Y座標、および回転結果。

5. 作業エリア全体で各ポジションのテストを実施しました。

6. 校正または補正が適用されました。

7. 機械および環境条件。

報告された数値が最大偏差なのか、統計的指標なのか、あるいは別の定義に基づくものなのかを明確にしてください。異なる基準で表された値を直接比較すべきではありません。

図1．設置報告書には、サンプル、測定方法、操作条件、および観測結果を記載する必要があります。

関連する接着段階後に測定する

乾燥状態での配置試験では、接着のあらゆる影響を捉えることはできません。

加熱、接触力、接着挙動、およびその後の加工によって最終的な位置が変化する可能性があります。これらの影響が重要な場合は、関連する加工段階の後に測定を行ってください。

報告書では、装着結果と接着完了結果を区別し、検査におけるあらゆる制限事項を説明する必要がある。

ウォームアップと連続運転を含む

短時間のデモンストレーションでは、機械が動作温度に達した後に現れる挙動を見逃してしまう可能性があります。

該当する場合は、起動後、ウォームアップ後、および連続運転中の性能を比較してください。結果を解釈できるように、動作条件を記録してください。

認識、ピックアップ、配置オフセット、温度挙動、アラームの変化に注意してください。ツール、サンプル、測定、環境も結果に影響を与える可能性があるため、観察された変化については、原因を即座に推測するのではなく、調査する必要があります。

アプリケーションに応じて、実行期間と許可される動作を定義します。

金型を扱う機構を点検する

ピックアップとリリース

コレット、真空経路、ピックアップツール、およびリリース動作を点検する。

可能な限り代表的なサンプルをテストしてください。金型の欠落、予期せぬ動き、表面の傷や損傷がないか確認してください。空運転サイクルでは、材料搬送が成功しているとは言えません。

ウェハーの取り扱いと排出

ウェハ供給方式の場合、設置済みのフレームハンドリング、マッピング、エジェクタ、ピックアップ機構を確認してください。

ウェハー径は互換性の要素の一つにすぎません。ダイの厚さ、テープ、フレーム、排出要件などもセットアップに影響を与える可能性があります。

ビジョン

カメラ、光学系、照明、およびソフトウェアが、実際のダイと基板の特徴を認識していることを確認してください。

高コントラストの校正用ターゲットでのテストが成功したとしても、反射率の高い、あるいは低コントラストの実際の製品部品では必ずしも良好な結果が得られるとは限らない。

備品

治具が基板をしっかりと固定し、許容範囲を超える歪みが生じていないか確認してください。見積書には特注治具を別途記載し、検査に付属の治具を使用したかどうかを記録してください。

温度と力を測定によって検証する

表示される設定値は校正結果ではありません。

温度制御による接合を行う場合は、温度測定箇所、接合位置との関係、および適用される動作条件を明確にしてください。

力制御による接合の場合、校正結果を確認し、適切な範囲を検証してください。評価には、工具の形状と接触条件を含める必要があります。

機能がテストできない場合は、未検証として記録してください。不完全なデモンストレーションを合格とみなさないでください。

出荷前にソフトウェア復旧機能を確認してください

正常に動作しているコントローラーは、復旧上の問題を隠蔽する可能性がある。

ソフトウェアのバージョン、ライセンス契約、機器固有のキャリブレーションファイル、および利用可能なバックアップについて問い合わせてください。オペレーティングシステム、カメラハードウェア、およびモーションコントロールインターフェースに関連する依存関係を特定してください。

復旧パッケージには以下の内容が記載されているはずです。

• バックアップされたものは何ですか。

• インストールメディアが入手可能かどうか。

• 必要なライセンスまたはキーは何ですか？

• 回復が実証されたかどうか。

• 納品後に修復が必要になった場合、誰が責任を負うのか。

ハードドライブをコピーしても、ライセンスやハードウェアの互換性の問題は自動的に解決されるわけではありません。

合格結果を追跡可能にする

報告書は、すべての結論を提示された機器からの証拠と結びつけるべきである。

より広範な購入および文書化プロセスについては、当社のガイドを参照してください。 中古ダイボンダーを購入する前に確認する 構成記録、配送情報、および未解決の機能が含まれます。

図2．テスト済みの機能と未解決の責任事項を同じ受入記録に保持する。

「再生品」とは何を意味するべきか？

改修工事には様々なレベルの作業が含まれます。ラベルだけでは性能を保証するものではありません。

交換部品、修理、校正、ソフトウェア作業、完了したテストなど、実際の作業範囲を要求してください。どの作業が既に完了しているか、注文確定後に提案される作業はどれかを明確にしてください。

精密接合に関するお問い合わせを審査する際、弊社では購入者に対し、必須性能と希望する機能を分けていただくようお願いしています。これにより、機器選定前に検証が必要な機能を特定しやすくなります。

よくある質問

古い機械は自動的に精度が低いのでしょうか？

いいえ。状態、構成、校正、メンテナンス、および測定結果は、単に経年劣化だけよりも、より強力な評価基準となります。

販売者は、どれくらいの残存寿命を約束すべきでしょうか？

一般的な耐用年数推定は、購入の判断基準としては不十分です。保守性、部品の入手可能性、サブシステムの状態、保証条件などを確認してください。

自分のサンプルをテストせずに購入することはできますか？

サンプルテストが現実的でない場合もある。代替となる証拠について合意し、その限界を文書化する。未検証の能力は、購入決定において常に明示しておくべきである。

すべての購入者が同じ許容基準を用いるべきでしょうか？

いいえ。制限値は、製品、接合プロセス、測定方法、および製造要件を反映したものでなければなりません。